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本系统是一个自我平衡的循环装置，包含热交换器、循环泵、压缩机和控制系统，可将循环流体温度控制在-30℃到+90℃。次温控设备（Chiller）主要用于半导体制程中对反应腔温度的精准控制。 标签： 工控设备   工控设备   成都市工业控制设备   成都市工业控制设备厂家
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